电子气
    发布时间: 2024-10-24 16:39    
电子气

    为了满足客户需求的气体产品,形成了以混合气为主,特殊化学气体及高纯气为辅的产品线,相关产品 已经应用于LED、IC、光伏等行业。 

 气体组分

含量

阀门

充装压力

PH3/H2

ppm级 %含量

DISS632/CA350

10MPa

PH3/N2

ppm级 %含量

DISS632/CA350

10MPa

PH3/He

ppm级 %含量

DISS632/CA350

10MPa

SiH4/H2

ppm级 %含量

DISS632/CA350

10MPa

SiH4/N2

ppm级 %含量

DISS632/CA350

10MPa

B2H6/H2

ppm级

DISS632/CA350

10MPa

30%O2/He


DISS714

12MPa  

20%O2/Ar


DISS714

10MPa

3%H2/Ar


DISS724

10MPa

15%O2/Ar


DISS714

10MPa

0.5%O2/He


DISS714

12MPa

1.2%He/N2


DISS714

12MPa

F2/Kr/Ne

 %含量

CA679/DISS728

13.8MPa

F2/Ar/Ne

 %含量

CA679/DISS728

13.8MPa

Kr/Ne

 %含量

CA580/DISS718

13.8MPa

Ar/Xe/Ne

 %含量

CA580/DISS718

13.8MPa

4%H2/N2


DISS718

12MPa

2.7%C2H4/He


JISS22-14OR

12MPa

99.9% NO


JISS22-14-OR

3.5MPa