高纯氢 - 制法

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        以电解氢为原料，经催化脱氧、干燥、低温吸附等净化工艺而得。其制各方法还有低温液化法、金属氢化物氢净化法、钯膜扩散法、中空纤维膜扩散法和变压吸附法等。

        高纯氢 - 用途
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        高纯氢主要用于大规模集成电路的制造，提供还原气氛，作为配制SiH4/H2、PH3/H2、B2 H6/H2等混合气的底气。在电真空材料和器件生产过程中，对氢气纯度要求也很高。电子管的阳极、阴极和栅极等金属器件，都需经过专门的烧氢处理。另外，在硅和砷化镓的外延工艺中用作保护气和运载气。

        高纯氢 - 安全性
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        在很高的浓度时，可出现麻醉作用。易燃压缩气体。贮存于阴凉、通风仓库内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与氧气、压缩空气、卤素（氟、氯、溴），氧化剂等分开存放。切忌混贮混运。防止撞击和曝晒。